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          真空閥門

                 

          概述

          SP Speedivalves(帶氟橡膠或丁腈橡膠隔膜)是密封的管線隔離閥,采用薄膜和閥座布置,可用在不平整、不清潔的系統中。這種閥配有位置指示器,僅適用于管線安裝。

          IBV 球閥具備實用的日常功能,此外還采用高規格設計,因此易于使用,經濟劃算。這些堅固的閥使用 316L 不銹鋼制造,采用全通徑設計,適合廣泛的真空應用。

          PVMK 閥是快速反應的杠桿操作直角隔離閥,帶有波紋管和 O 形密封圈,可用于提供無油脂的真空環境。這種閥采用鋁或不銹鋼制造,是一種價格低廉、安全可靠的隔離解決方案。

          PVPK 閥是快速反應的氣動操作直角隔離閥,帶有波紋管和 O 形密封圈,可用于提供無油脂的真空環境。這種閥帶有直觀和電子的閥狀態指示功能,可以選擇鋁或不銹鋼制造,是一種適合高循環負荷的低價閥。

          PVEK 閥是緊湊的輕型電磁閥操作直角隔離閥,帶有波紋管和 O 形密封環,可用于提供無油脂的真空環境。這種閥采用鋁或不銹鋼制造,是一種價格低廉、安全可靠的隔離解決方案。

          BRV 閥是手動或氣動執行的前級/粗抽閥。它是一個完整的 3 接口裝置,集獨立的前級/粗抽閥的功能于一身。具備多種控制和指示功能,是一種價格低廉、安全可靠、易于操作的閥。

          SIPVP 閥是氣動操作的軟啟動型閥,帶有可更換的孔板,可為湍急氣流會導致微粒污染問題的制程提供受控的制程抽氣。

          ISO 帶法蘭插板閥系列可采用多種材料和密封方式,提供極佳的整體密封性和真空完整性,同時具有最高的導電性。這種閥采用氣動或手動執行方式,附帶多種控制和指示功能。

          CF 帶法蘭插板閥可采用多種材料和密封方式,提供極佳的整體密封性和真空完整性,同時具有最高的導電性。這種閥采用氣動或手動執行方式,附帶多種控制和指示功能,而且采用可加熱式設計。

          BGV 地下室插板閥經過針對性設計,采用簡單、創新的楔形密封系統,消除了傳統插板閥所使用的復雜機械裝置。其優勢包括在真空內不需要油、油脂和移動部件,因此降低了機械裝置被制程中的粉塵污染的風險。

          QSB 直角回轉蝶閥是設計緊湊、反應迅速的高導電性隔離閥。采用不銹鋼制造,帶有 O 形密封圈,氣動或手動執行。

          進氣閥系列共有三種設計,適合多種應用。從簡單的螺紋塞設計到由電磁閥操作的閥,這些閥可安裝在面板或管道上,是向真空系統進氣的理想產品。 除了進氣閥,Edwards 還提供可安裝在面板或管道上的針閥,用于精細控制真空系統中的進氣。

          電控氣動控制閥可用來控制氣動執行的真空閥的運行??刂崎y包括 3 接口和 5 接口兩種型號,提供不同的電源電壓和頻率來適合您的應用。

          參數

          名稱

          類型

          主體材料

          閥座的泄漏值

          通過閥體的泄漏值

          重量

          AV5A

          吸氣閥

          HE30 鋁 / 鍍鎳黃銅

          10-7 mbar ls-1ls-1

          10-1 mbar ls-1

          85 g

          AV10K

          吸氣閥

          HE30 鋁

          10-7 mbar ls-1

          10-1 mbar ls-1

          100 g

          BGV

          插板閥

          AISI 304 不銹鋼

          < 1 x 10-7 mbar ls-1

           

          3.3-17.7kg

          BRVPK

          粗抽閥

          HE 30TF 鋁

           

          < 10-9 mbar ls-1

          350-900g

          CF

          插板閥

          AISI 304 不銹鋼

           

          < 10- 9 mbar l s- 1

          73 kg

          IBV

          球閥

          AISI 316L 不銹鋼

           

          1 x 10-6 mbar ls-1

          0.75-4.3kg

          IPVA10FK

          吸氣閥

           

          1 x 10-9 mbar ls-1

          310g

          IPVMK

          手動操作隔離閥

          HE30TF 等級的鋁或 AISI304 等級的不銹鋼

           

          < 10-9 mbar ls-1

          180-3300g

          ISO

          插板閥

          AISI 304 不銹鋼

           

          < 10- 9 mbar l s- 1

           

          LCPVEK

          電磁閥

          鋁、不銹鋼

           

          < 1 x 10-6 mbar ls-1  

           

          LV10K

          針閥

          鋁 HE30

          10-7 mbar ls-1 / 8 x 10-8 Torr ls -1

          10-7 mbar ls-1

          138 g  

          PVEK

          電磁閥

          HE30TF 鋁

           

          < 1 x 10-9 mbar ls- 1

          800g

          PVPK

          氣動隔離閥

          HE30TF 鋁
          AISI304 不銹鋼

           

          < 1 x 10-9 mbar ls- 1

          310-4000g

          QSB

          蝶閥

          AISI 304 不銹鋼

           

          < 10-9 mbar ls-1

           

          SIPV

          軟啟動閥

          HE30TF 鋁

           

          10-9 mbar l s- 1

           

          SP

          管線隔離閥

          符合 BS1490 的鋁合金

           

          10-6 mbar ls-1

          230-2300g