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          EH羅茨泵

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          概述

          EH 機械增壓泵以簡單的羅茨泵原理為基礎,仍是最受歡迎的泵,可用于壓力范圍為 0.01 至 10 mbar、需要高抽速的應用場合。此泵必須始終由另一個提供相對于大氣壓的高壓差的泵作為前級。
          機械增壓泵在相對較低的壓力下工作,不會暴露在與前級泵相同濃度的腐蝕性制程介質下,因此高度可靠。

          應用

          半導體制程、真空蒸餾、真空包裝、鋼脫氣、薄膜覆層、真空冶金、低密度風洞、空間模擬、真空浸漬、油干燥和脫氣、制藥冷凍干燥、CO2 激光

          功能和優勢

          適用于在 0.01 至 50 mbar/0.0075 至 37.5 Torr 的壓力范圍下、需要超過 3000 m3h-1/1776 ft3min-1 的高抽速的應用場合。

          它可在相對較低的壓力環境下表現出更高的可靠性。

          EH 泵具有高質量的無油泵送機械裝置。這可提供:

          安靜的無振動運行。

          牢靠且防腐蝕。

          先進的軸封技術,處理艙中不會出現油污染

          防腐型泵送機械裝置采用高等級鑄鐵制造。

          經驗證的軸封布置可確保沒有油進入泵送定子,并且由于不需要可能腐蝕或黏著的內部和外部旁通管道及閥門,因此可將維護要求降到最低。

          軸封的設計經過優化,可確保潤滑劑無法進入泵送機械裝置中。這可在需要最高標準清潔程度的應用中保持增壓泵性能。此外,這可防止在公差非常嚴格的轉子葉和端面上堆積吸入的微粒。

          動態平衡的轉子和精密研磨齒輪有助于實現泵的平穩、運行噪音小,而這些特點正是先進技術設備的制造商所需要的。

          技術數據

           

          EH250

          EH500

          EH1200

          EH2600

          EH4200

          排量(工作容積)

          310 m3h-1 / 185 ft3min-1

          505 m3h-1 / 300 ft3min-1

          1195 m3h-1 / 715 ft3min-1

          2590 m3h-1 / 1525 ft3min-1

          4140 m3h-1 / 2440 ft3min-1

          使用前級泵時的有效抽速

          240 m3h-1 / 141 ft3min-1

          350 m3h-1 / 206 ft3min-1

          840 m3h-1 / 495 ft3min-1

          1750 m3h-1 / 1031 ft3min-1

          3100 m3h-1 / 1825 ft3min-1

          泵的壓力差

          0-180 mbar/0-140 Torr

          0-110 mbar/0-83 Torr

          0-90 mbar/0-68 Torr

          0-80 mbar/0-60 Torr

          0-60 mbar / 0-45 Torr

          進氣口連接

          ISO63

          ISO100

          ISO160

          ISO160

          ISO250

          出口連接

          ISO40

          ISO63

          ISO100

          ISO100

          ISO100

          轉速

          0-2900 rpm

          0-2900 rpm

          0-2900 rpm

          0-2900 rpm

          0-2900 rpm

          連續進氣口工作壓力

          0-1000 mbar/0-760 Torr

          0-1000 mbar/0-760 Torr

          0-1000 mbar/0-760 Torr

          0-1000 mbar/0-760 Torr

          0-1000 mbar/0-760 Torr

          最大出口壓力

          1000 mbar/760 Torr

          1000 mbar/760 Torr

          1000 mbar/760 Torr

          1000 mbar/760 Torr

          1000 mbar/760 Torr

          推薦的前級泵

          GV80、E1M/E2M40、E1M/E2M80

          GV80,E2M80

          GV160、GV250、
          E2M80、E2M175

          GV250、GV400、
          E2M175、E2M275

          GV400、E2M275

          電機功率

           

           

           

           

           

          碳氫化合物

          2.2 kW / 3 hp

          2.2 kW/3 hp

          3 kW/4 hp

          11 kW/15 hp

          11 kW/15 hp

          PFPE

          1.5 kW / 2 hp

          1.5 kW/2 hp

          3 kW/4 hp

          7.5 kW/10 hp

          11 kW/15 hp

          ATEX

          2.2 kW

          2.2 kW

          3 kW

          11 kW

          11 kW

          防爆

          3 hp

          3 hp

          4 hp

          15 hp

          15 hp

          環境溫度范圍

           

           

           

           

           

          工作

          5 至 40°C/40 至 104°F

          5 至 40°C/40 至 104°F

          5 至 40°C/40 至 104°F

          5 至 40°C/40 至 104°F

          5 至 40°C/40 至 104°F

          存儲

          -10 至 80°C/14 至 176°F

          -10 至 80°C/14 至 176°F

          -10 至 80°C/14 至 176°F

          -10 至 80°C/14 至 176°F

          -10 至 80°C/14 至 176°F

          最大工作濕度

          90% RH

          90% RH

          90% RH

          90% RH

          90% RH

          推薦用油

          Ultragrade 20

          Ultragrade 20

          Ultragrade 20

          Ultragrade 20

          Ultragrade 20

          油容量

           

           

           

           

           

          齒輪箱

           

           

          1.25 l/1.3 qt

          3.5 l/3.3 qt

          3.5 l/3.3 qt

          聯軸器蓋

          1.5 l/1.6 qt

          1.5 l/1.6 qt

          1.5 l/1.6 qt

          6.5 l/7 qt

          6.5 l/7 qt

          軸封儲油器

          0.125 l/0.25 qt

          0.125 l/0.25 qt

          0.125 l/0.25 qt

          1.5 l/1.4 qt

          1.5 l/1.4 qt

          重量

          61 kg/134 lb

          74 kg/163 lb

          74 kg/163 lb

          308 kg/679 lb

          400 kg / 882 lb