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          GX系列干泵

                   

          概要

          GX 干式真空泵系列為大修之間零維護樹立了新標準。 效率提高的同時降低了運行成本,并在整個壓力范圍內保持連續一致的泵送能力。
          GX 泵的峰值速度范圍很寬,并可以改變以適合各種應用條件,包括從清潔到中等負載制程。 模塊化設計允許用戶對 GX 干泵進行配置以適合各個工廠的要求。 超緊湊的占地面積允許使用包括工具上、近程和遠程在內的多種安裝選項。

          應用

          負載鎖

          輸送

          計量

          功能和優勢

          低運行成本

          與 iL/iH 干泵相比,設施成本最多可降低 50%

          無需預防性維護

          靈活的安裝選項

          小巧輕便,便于安裝

          工具上、近程或遠程

          可以改進工具吞吐量

          可用的最快的負載鎖定泵之一

          全程一致的泵送性能

          在 50 和 60 Hz 下抽速相同

          降低了環境噪音

          僅 55 dB(A)

          峰值速度范圍寬

          100、300、600 和 800 m3h-1

          技術數據

           

          GX100

          GX600

          GX1000

          性能

           

           

           

          峰值速度

          105 m3h-1

          620 m3h-1

          800 m3h-1

           

          62 ft3min-1

          365 ft3min-1

          471 ft3min-1

           

          1750 lmin-1

          10333 lmin-1

          13333 lmin-1

          極限壓力

          5 x 10-3 mbar

          7 x 10 -4 mbar

          1 x 10-3 mbar

           

          3.75 x 10-3 Torr

          5.25 x 10-4 Torr

          7.5 x 10-4 Torr

           

          0.5 Pa

          0.07 Pa

          0.10 Pa

          700 Torr 排氣壓力下的極限

           

           

           

          功率

          1 kW

          1.6 kW

          1.6 kW

          AUC(有源設備控制器)

          0.05 kW

          0.05 kW

          1.05 kW

          水*

           

           

           

          水入口

          1 slm

          2 slm

          2 slm

          氮氣

          0 slm

          0 slm

          4 或 14 slm **

          安裝詳細信息

           

           

           

          占地面積(不包括排氣裝置)

          0.20 m2

          0.20 m2

          0.20 m2

          重量

          120 kg

          220 kg

          230 kg

          入口連接

          ISO 63

          ISO 100

          ISO 100

          出口連接

          NW25

          NW25

          NW25

          極限噪音

          <55 dB(A)

          <55 dB(A)

          <55 dB(A)