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             當前位置: 首頁>>半導體干泵|英國愛德華真空泵 >>iGX系列干泵

          iGX系列干泵

          概述

          iGX 干式真空泵系列為大修之間零維護樹立了新標準。效率提高的同時降低了運行成本,并在整個壓力范圍內保持連續一致的泵送能力。
          iGX
          干泵包括以太網連接功能,允許通過網頁查看主要數據,另外還包括一套全面的網絡選項,可確保泵持續運轉。 
          iGX
          泵的峰值速度范圍很寬,并可以改變以適合各種應用條件,包括從清潔到中等負載的各種工藝。模塊化設計允許用戶對 iGX 干泵進行配置以適合各個工廠的要求。超緊湊的占地面積允許使用包括工具上、近程和遠程在內的多種安裝選項。

          應用

          負載鎖

          輸送

          計量

          功能和優勢

          低運行成本

          iL/iH 干泵相比,設施成本最多可降低 50%

          無需預防性維護

          靈活的安裝選項

          小巧輕便,便于安裝

          工具上、近程或遠程

          可以改進工具吞吐量

          可用的最快的負載鎖定泵之一

          全程一致的泵送性能

          50 60 Hz 下抽速相同

          降低了環境噪音

          55 dB(A)

          峰值速度范圍寬

          100、300、600 800 m3h-1

          技術數據

          峰值速度

          105 m3h-1

          620 m3h-1

           

          62 cfm

          365 cfm

           

          1750 l min-1

          10333 l min-1

          極限壓力

          5.00E-03 mbar

          7.00E-04 mbar

           

          3.75E-03 Torr

          5.25E-04 Torr

           

          0.50 Pa

          0.07 Pa

          AUC(有源設備控制器)

          0.05 kW

          0.05 kW

          水入口*

          1 slm

          2 slm

          0 slm

          0 slm

          占地面積(不包括排氣裝置)

          0.20 m2

          0.20 m2

          重量

          120 kg

          220 kg

          進氣口連接

          ISO63

          ISO100

          出口連接

          NW25

          NW25

          極限噪音

          < 55 dB(A)

          < 55 dB(A)