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          iH系列半導體真空泵

                   

          概述

          Edwards 高級半導體真空泵已經過現場應用證明,可以按照最高工作標準運行。通過延長使用壽命、提高運行時間并提高生產率,同時最大程度地減小占地面積、降低運行成本,實現了高的可靠性和性能。
          iH
          系列為難以執行的制程(如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產品的 PECVD LPCVD 制程)提供了高可靠性。

          應用

          負載鎖

          輸送

          計量

          平版印刷

          PVD 制程

          PVD 預清潔

          RTA

          剝離/灰化

          刻蝕

          植入源

          HDP CVD

          RTP

          SACVD

          MCVD

          PECVD

          LPCVD

          ALD 

          功能和優勢

          優化了設施消耗。

          無需預防性維護。

          懸臂軸和特殊的異型轉子便于顆粒的處理。

          在節省電機功率的同時最大程度提高了工作繁重的 CVD 應用條件下的穩定性。

          耐腐蝕的制造材料允許泵送腐蝕性氣體。

          較高的工作溫度為避免氣體冷凝提供了充分的安全保證。

          整體式軸桿無需使用電機聯結器,而第五級泵消除了使用消音器的需要并消除了顆粒

          堆積,從而降低了總體占地面積。

          技術數據

           

          iH80

          iH160

          iH600

          iH1000

          iH1800

          峰值速度

          103 m3h-1

          165 m3h-1

          600 m3h-1

          1000 m3h-1

          1800 m3h-1

           

          61 cfm

          97 cfm

          353 cfm

          589 cfm

          1060 cfm

           

          1717 l min-1

          2750 l min-1

          10000 l min-1

          16670 l min-1

          30000 l min-1

          極限真空

          1 x 10-2 mbar

          1 x 10-2 mbar

          7 x 10-4 mbar

          1 x 10-3 mbar

          1 x 10-3 mbar

           

          7.5 x 10-3 Torr

          7.5 x 10-3 Torr

          5.3 x 10-4 Torr

          7.5 x 10-4 Torr

          7.5 x 10-4 Torr

           

          1 Pa

          1 Pa

          0.07 Pa

          0.1 Pa

          0.1 Pa

          典型軸封氮流量

          4 slm

          4 slm

          4 slm

          4 slm

          4 slm

          進氣口連接

          ISO63

          ISO63

          ISO100

          ISO100

          ISO160

          出口連接

          NW40

          NW40

          NW40

          NW40

          NW40

          15 psi 壓降下典型冷卻水流量

          120 l h-1

          120 l h-1

          240 l h-1

          240 l h-1

          240 l h-1

           

          2 l min-1

          2 l min-1

          4 l min-1

          4 l min-1

          4 l min-1

          重量

          240 kg

          244 kg

          415 kg

          430 kg

          502 kg

          極限功率輸入

          2.7 kW

          3.1 kW

          3.4 kW

          3.8 kW

          4.1 kW

          電機額定功率

          3.5 kW

          5.0 kW

          6.1 kW

          6.1 kW

          7.0 kW

          油容量

          0.7 l

          0.85 l

          1.43 l

          1.48 l

          1.6 l