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          超高真空STP泵

                       

          概述

          Edwards STP用于電子顯微鏡和半導體應用。Edwards 的轉子技術可實現一流的性能,最大的制程靈活性。STP 已經由科學儀器、半導體和磁介質行業的大型設備制造商投入使用,并得到了認可。
          此 STP 泵在供貨時帶有入口篩網。 
          如需完整安裝,請訂購一臺 STP 泵、一個控制器、一根連接電纜和一根電源電纜。 

          應用

          金屬(鋁)、鎢和電介質(氧化物)以及多晶硅等離子刻蝕(氯化物、氟化物和溴化物)

          電子回旋共振 (ECR) 刻蝕

          薄膜沉積 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD

          濺射

          離子注入源,射束線泵送端點站

          MBE

          擴散

          光致抗蝕劑脫模

          晶體/晶膜生長

          晶片檢查

          負載鎖真空腔

          科學儀器:表面分析、質譜分析、電子顯微鏡

          高能物理:射束線、加速器

          放射線應用:融合系統、回旋

          功能和優勢

          先進的轉子技術  

          最大的制程靈活性

          無油

          低振動

          高度可靠

          免維護

          先進的控制器設計  

          自動調整

          自行診斷功能

          直流電機驅動

          無電池運行

          緊湊型設計  

          占地面積小

          半機架控制器

          技術參數

           

          STP301

          STP603

          STP1003C

          入口法蘭

          ISO100,CF100

          ISO160F

          ISO200F

          出口

          KF25

          KF40

          KF40

          抽速

           

           

           

            N2

          300 ls-1

          650 ls-1

          1000 ls-1

            H2

          300 ls-1

          550 ls-1

          800 ls-1

          壓縮比

           

           

           

            N2

          >108

          >108

          >108

            H2

          >2 x 104

          >105

          >105

          加熱時的極限壓力(VG/ISO 法蘭)

          6.5 x 10-6 Pa (5 x 10-8 Torr)

          6.5 x 10-6 Pa (5 x 10-8 Torr)

          10-7 Pa (10-9 Torr)

          加熱時的極限壓力(ICF 法蘭)

          10-8 Pa (10-10 Torr)

          10-7 Pa (10-9 Torr)

          10-8 Pa (10-10 Torr)

          最大連續出口壓力(環境空氣冷卻)

          13 Pa (0.1 Torr)

          13 Pa (0.1 Torr)

          13 Pa (0.1 Torr)

          額定速度

          48000 rpm

          35000 rpm

          35000 rpm

          啟動時間

          3 min

          6 分鐘

          6 分鐘

          最高入口法蘭溫度

          120 °C

          120 °C

          120 °C

          輸入電壓

          100 至 120 (± 10%) V 交流或200 至 240 (± 10%) V 交流

          100 至 120 (± 10) V 交流或200 至 240 (± 10) V 交流

          100 至 120 (± 10) V 交流或至 240 (± 10) V 交流

          啟動時的功耗

          0.55 kVA

          0.8 kVA

          0.8 kVA

          泵重量

          11 kg

          31 kg

          31 kg

          控制器重量

          7 kg

          9 kg

          9 kg