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             當前位置: 首頁>>渦輪分子泵|英國愛德華真空泵 >>高流量STP泵

          高流量STP泵

          概述

          STP-XAC 渦輪泵為高真空到 2300 sccm 制程流的制程范圍內提供高性能,并提高所有氣體的吞吐量。?
          此泵基于新的平臺設計,提供各種功能以改善熱管理,從而增強在嚴苛制程中的性能,提高最大制程流能力,并減少腐蝕和沉積的影響。?
          其出色的性能既適用于溫和的應用環境,也適用于嚴苛的環境,例如半導體刻蝕、注入、光刻和 LCD 制程。

          應用

          金屬(鋁)、鎢和電介質(氧化物)以及多晶硅等離子刻蝕(氯化物、氟化物和溴化物)

          電子回旋共振 (ECR) 刻蝕

          薄膜沉積 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD

          濺射

          離子注入源,射束線泵送端點站

          MBE

          擴散

          光致抗蝕劑脫模

          晶體/晶膜生長

          晶片檢查

          負載鎖真空腔

          科學儀器:表面分析、質譜分析、電子顯微鏡

          高能物理:射束線、加速器

          放射線應用:融合系統、回旋

          功能和優勢

          先進的轉子設計??

          增強的 H2、N2 和 Ar 性能

          改進了在高真空到 2300 sccm 制程壓力范圍內的性能

          免維護

          軸磁懸浮系統??

          無污染

          低振動

          創新性轉矩管理??

          優化的溫度管理系統??

          高溫 TMS 能力

          低沉積

          內置冷卻機械裝置

          更高的氣體吞吐量(加熱和未加熱)

          延長壽命

          可用于嚴苛制程

          認證??

          符合 SEMI?,具有 CE 標記,列于 UL 中

          技術數據

           

          STP-XA2703C

          STP-XA3203C

          STP-XA4503C

          入口法蘭

          VG250

          ISO320F

          VF300、ISO320F、VG350

          抽速

           

           

           

          ? N2

          2650 ls-1

          3200 ls-1

          4000 ls-1

          ? H2

          2050 ls-1

          2300 ls-1

          2500 ls-1

          壓縮比

           

           

           

          ? N2

          >108

          >108

          >108

          ? H2

          >6 x 103

          >6 x 103

          6 x 103

          極限壓力

          10-7 Pa

          10-7 Pa

          10-7 Pa / 10-9 mbar

          最大允許前級壓力

          266 Pa

          266 Pa

          266 Pa / 2.66 mbar

          最大允許氣體流量

           

           

           

          N2(水冷卻)

          2300 sccm (3.8 Pam3s-1)

          2300 sccm (3.8 Pam3s-1)

          2800 sccm/4.73 Pam3s-1

          Ar(水冷卻)

          1900 sccm (3.2 Pam3s-1)

          1900 sccm (3.2 Pam3s-1)

          2150 sccm/3.63 Pam3s-1

          額定速度

          27500 rpm

          27500 rpm

          24000 rpm

          啟動時間

          8 min

          8 min

          12 分鐘

          固定位置

          任何方向

          任何方向

          任何方向

          水冷卻流量

          3 lmin-1

          3 lmin-1

          3 ls-1

          水冷卻溫度

          5-25 °C (41-77 °F)

          5-25 °C (41-77 °F)

          5 – 25 °C / 41 – 77 °F

          壓力

          0.3 MPa

          0.3 MPa

          0.3 MPa

          推薦的吹掃氣體流量

          50 sccm (8.4 x 10-2 Pam3s-1)

          50 sccm (8.4 x 10-2 Pam3s-1)

          50 sccm/8.4 x 10-2 Pam3s-1

          輸入電壓

          200 至 240 V 交流 (± 10)

          200 至 240 (± 10) V 交流

          200 – 240 ±10 % V 交流

          功耗

          1.5 kVA

          1.5 kVA

          1.5 KVA

          泵重量

          75 kg (165 lb)

          80 kg (176 lb)

           

          控制器重量

          12 kg (26.4 lb)

          12 kg (26.4 lb)